Nieuwe multi-asseplatform voor back-end toepassingen
In back-end applicaties bepaalt de combinatie van kosten per plaatsing en het rendement de uiteindelijke cost of ownership. Beide factoren zijn verbonden aan de positioneernauwkeurigheid en snelheid van het motionsysteem. Veel systemen die verouderd zijn waren enkel geoptimaliseerd voor een hoge positioneernauwkeurigheid óf voor een hoge doorvoer. Etel ontwikkelde daarom samen met Heinenhain: ‘TELICA’. Het nieuwe multi-assenplatform voor back-end toepassingen dat zowel hoge nauwkeurigheid als snelheid biedt.
Belangrijke samenwerking ETEL en HEIDENHAIN
ETEL, producent van motoren met directe aandrijvingen, biedt oplossingen die variëren van hoogwaardige bewegingssystemen tot industriële toepassingen die een hoge kracht vereisen. Met het nieuwe motion control systeem van ETEL wordt een positioneernauwkeurigheid <1 µm bereikt, gecombineerd met zeer hoge versnellingen en precisiebewegingen. Voor het realiseren van dit motion control systeem met deze uitzonderlijke eigenschappen, is een samenwerking aangegaan met HEIDENHAIN, producent van lineaire en roterende encoders, die de optische encoders heeft aangeleverd.
Nauwkeurigheid en doorvoer op een ongekend niveau, namelijk 1 µm (3 sigma) positioneernauwkeurigheid @ 10 kUPH.
Dynamische nauwkeurigheid
Zelfs bij hele dynamische toepassingen verbeteren de encoders van Heidehain, als gevolg van een zeer kleine interpolatiefout, de prestaties van de lineaire motoren en verminderen ze op die manier de warmteoverdracht naar de machines. Door minder thermisch geïntroduceerde fouten, realiseert TELICA zeer hoge nauwkeurigheden.
De positienauwkeurigheid wordt verder verbeterd door de ZERODUR lineaire encoders. Hierover zegt HEIDENHAIN het volgende:
Lage positieruis en een lage basislijnfout van minder dan ± 0,175 µm over een interval van 5 mm, dragen ook bij aan de uitzonderlijke nauwkeurigheid en hoge dynamiek van deze stages.
Extra bescherm tegen warme temperaturen
Om zeker te weten dat de encoders tegen mogelijke warme temperaturen zoals van het aandrijfsysteem worden beschermd, hebben HEIDENHAIN en ETEL een speciaal concept ontwikkeld waarbij de stages zijn ontworpen voor extreme positiestabiliteit bij hoge doorvoer.
De meest belangrijke specificaties van TELICA:
• ±350 nm lokale plaatsingsnauwkeurigheid (beweegt met plaatselijke uitlijning)
• ±1 µm globale plaatsingsnauwkeurigheid (blinde bewegingen)
• <10 minuten thermisch transitie (van koude start tot warme werkingstoestand)
• tot 10 kUPH doorvoer voor een typische flip-chip matrijsverbindingstoepassing
• tot 180 kUPH verwerkingscapaciteit voor µ-LED-binding
• tot 4 g acceleratie in X, 6 g in Y en 7.5 g in Z
• tot 2 m/s snelheid in X en Y en 1 m/s in Z
• ISO 5 geschikt voor gebruik in een cleanroom